真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。下面，洛陽(yáng)八佳科技小編就為您介紹真空燒結(jié)爐的應(yīng)急措施. 　　一. 冷卻水異常 　　1、確認(rèn)加熱電源已停止。 　　2、爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時(shí)，應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施，如能保證水量，請(qǐng)繼續(xù)保持真空，如不能采取應(yīng)急措施，保持原狀，確認(rèn)設(shè)備冷卻下來(lái)。 　　3、冷卻水發(fā)生異常時(shí)，設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài)，馬上接通緊急用冷卻水。 　　4、在高溫(超過(guò)200℃即視為高溫)時(shí)，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。 　　二 壓縮空氣的停止 　　1、壓縮空氣異常報(bào)警時(shí)，設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài)，應(yīng)盡快到備用的壓縮機(jī)房，讓其恢復(fù)工作。 　　2、真空中如壓縮空氣異常報(bào)警，且恢復(fù)需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則終止真空，讓設(shè)備停下來(lái)。 　　三 停電 　　1、停電時(shí)，如果斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源。 　　2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長(zhǎng)時(shí)間，則將設(shè)備保持原狀。 　　3、如果正在加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，如果需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來(lái)。 　　四 加熱電源掉電 　　1、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa，壓力表報(bào)警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。 　　4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障，掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。 　　五 充氣氣體(氬氣或氮?dú)?停止 　　1、抽真空開(kāi)始前，氣體充入時(shí)間長(zhǎng)或者無(wú)法充入時(shí)，請(qǐng)確認(rèn)氣體管路是否被堵塞。 　　2、如氣體管路沒(méi)問(wèn)題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進(jìn)行檢查。 　　3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下，泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí)，要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。 　　4、確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會(huì)影響制品質(zhì)量。 　　六 真空室壓力惡化 　　1、真空排氣時(shí)間比通常長(zhǎng)時(shí)，應(yīng)把設(shè)備停下來(lái)進(jìn)行檢查，根據(jù)真空室內(nèi)構(gòu)造物不同狀態(tài)下放氣的影響，也有導(dǎo)致壓力升高的情況。 　　2、通過(guò)壓力上升測(cè)試或者用氦氣檢漏來(lái)確認(rèn)是漏氣還有放氣的影響。 　　在真空和保護(hù)性氣氛中，對(duì)金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結(jié)，要獲得一定密度和具有一定機(jī)械性能的材料時(shí)，一般采用兩種工藝;即有壓燒結(jié)和無(wú)壓燒結(jié)。有壓燒結(jié)工藝是將粉狀材料置于真空和保護(hù)性氣氛中的高碳模具中，高溫加熱到軟化狀態(tài)時(shí)，加壓成型。這種工藝需要一種真空熱壓燒結(jié)才能實(shí)現(xiàn)。該燒結(jié)爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點(diǎn)。目前這種爐型在我國(guó)還未見(jiàn)定型產(chǎn)品。

　　真空燒結(jié)爐主要用于活性金屬和難溶金屬以及硬質(zhì)合金，磁性材料和不銹鋼等的燒結(jié)。真空燒結(jié)爐實(shí)際上是低壓(減壓)燒結(jié)。真空度愈高，愈接近中性氣氛，愈與材料不發(fā)生任何化學(xué)反應(yīng)。 　　真空燒結(jié)爐的主要優(yōu)點(diǎn)是： 　　1、有利于排除吸附氣體，對(duì)促進(jìn)燒結(jié)后期的收縮作用明顯。 　　2、真空燒結(jié)爐對(duì)硅，鋁，鎂，鈣等雜質(zhì)或其氧化物的排除，起到提純材料的作用。 　　3、可改善液相燒結(jié)的潤(rùn)濕性，有利于燒結(jié)過(guò)程中的收縮和改善合金的組織結(jié)構(gòu)。 　　4、是理想的惰性氣氛，當(dāng)不宜用其他還原性或惰性氣體時(shí)，或者對(duì)容易出現(xiàn)脫碳，滲碳的材料，均可采用真空燒結(jié)爐。 　　5、真空燒結(jié)爐減少氣氛中的有害成分(水，氧，氮等)對(duì)產(chǎn)品的玷污。例如，電解氫中的含水量要求降至***-40℃較為困難;而真空燒結(jié)時(shí)，真空度只要在數(shù)百Pa就相當(dāng)于含水量為***-40℃。 　　真空下的液相燒結(jié)，發(fā)生粘結(jié)金屬的揮發(fā)損失是個(gè)重要問(wèn)題。這不僅改變和影響合金的成品成分和組織結(jié)構(gòu)，而且對(duì)燒結(jié)過(guò)程本身也起阻礙作用。粘結(jié)金屬的揮發(fā)損失，主要是在燒結(jié)后期(即保溫階段)發(fā)生。保溫時(shí)間長(zhǎng)，粘結(jié)金屬的揮發(fā)損失就多。為此，化物雜質(zhì)，水分等與材料中的碳發(fā)生反應(yīng)，生成CO隨爐排出。此時(shí)真空燒結(jié)爐爐壓明顯提高，合金中的總碳量降低。顯然，碳含量的變化取決于原材料粉末中的氧含量以及燒結(jié)時(shí)的真空度。兩者越高時(shí)，生成一氧化碳的反映越容易進(jìn)行，脫碳也越嚴(yán)重。 　　熔鹽電解爐的真空燒結(jié)與氣體保護(hù)燒結(jié)的工藝沒(méi)有根本區(qū)別，只是燒結(jié)溫度低一些，一般可降低到100~150℃。這有利于延長(zhǎng)真空燒結(jié)爐的壽命和降低電能的消耗。