真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規(guī)燒結，是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備，它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。下面，洛陽八佳科技小編就為您介紹真空燒結爐的應急措施. 　　一. 冷卻水異常 　　1、確認加熱電源已停止。 　　2、爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時，應盡快采取應急措施，如能保證水量，請繼續(xù)保持真空，如不能采取應急措施，保持原狀，確認設備冷卻下來。 　　3、冷卻水發(fā)生異常時，設備處于停止狀態(tài)，馬上接通緊急用冷卻水。 　　4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。 　　二 壓縮空氣的停止 　　1、壓縮空氣異常報警時，設備處于停止狀態(tài)，應盡快到備用的壓縮機房，讓其恢復工作。 　　2、真空中如壓縮空氣異常報警，且恢復需要較長時間時，則終止真空，讓設備停下來。 　　三 停電 　　1、停電時，如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。 　　2、如果在非升溫、加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，繼續(xù)運轉(zhuǎn)如需要較長時間，則將設備保持原狀。 　　3、如果正在加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，如果需要較長時間時，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來。 　　四 加熱電源掉電 　　1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。 　　4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障，掉電的原因可以認為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。 　　五 充氣氣體(氬氣或氮氣)停止 　　1、抽真空開始前，氣體充入時間長或者無法充入時，請確認氣體管路是否被堵塞。 　　2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關聯(lián)的設備要全部停止后再進行檢查。 　　3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。 　　4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質(zhì)量。 　　六 真空室壓力惡化 　　1、真空排氣時間比通常長時，應把設備停下來進行檢查，根據(jù)真空室內(nèi)構造物不同狀態(tài)下放氣的影響，也有導致壓力升高的情況。 　　2、通過壓力上升測試或者用氦氣檢漏來確認是漏氣還有放氣的影響。 　　在真空和保護性氣氛中，對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結，要獲得一定密度和具有一定機械性能的材料時，一般采用兩種工藝;即有壓燒結和無壓燒結。有壓燒結工藝是將粉狀材料置于真空和保護性氣氛中的高碳模具中，高溫加熱到軟化狀態(tài)時，加壓成型。這種工藝需要一種真空熱壓燒結才能實現(xiàn)。該燒結爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點。目前這種爐型在我國還未見定型產(chǎn)品。

　　真空燒結爐爐內(nèi)的氣氛對燒結產(chǎn)品的表面處理效果有直接影響，而爐內(nèi)的氣氛取決于工業(yè)爐的氣密性。因此，要保證燒結效果，就要保持真空爐的氣密性良好。那么，如何檢查真空爐的氣密性呢? 　　首先，確定***部位。檢修時，爐體和管道部分是檢查的關鍵部位。真空燒結爐的頂蓋、底蓋、穿帶孔、檢修門、入口密封輥縫、爐殼、膨脹節(jié)、爐輥法蘭等都需要仔細檢查。 　　其次，正壓部分檢查。觀察分析儀測量數(shù)據(jù)，當殘氧量突然升高時，就可能是真空燒結爐的爐殼或循環(huán)管道發(fā)生了泄漏現(xiàn)象。此時就需要使用氫氣探測儀對真空爐內(nèi)的氫氣進行檢測。 　　*，負壓部分檢查。真空爐的循環(huán)風機吸入端為負壓，如果負壓部件發(fā)生泄漏現(xiàn)象，空氣就會被吸入爐內(nèi)，導致燒結不充分，影響工件燒結效果。通過觀察在線分析儀測量數(shù)據(jù)變化，可以判斷出風機是否泄漏。