真空燒結爐是可進行真空燒結的的工藝，是半導體專用設備中一種新穎的工藝裝備，可用于其他領域內的真空熱處理工藝。當燒結爐出現(xiàn)冷卻水異常怎么辦? 　　發(fā)現(xiàn)工業(yè)爐出現(xiàn)異常時，要先確認加熱電源是否已經(jīng)停止。如果真空燒結爐爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時，應立即采取一些應急措施。如能保證水量，繼續(xù)保持真空;如不能則保持原狀，確認設備冷卻下來。 　　如果冷卻水出現(xiàn)異常時，真空燒結爐處于停止狀態(tài)，則立刻接通緊急用冷卻水。在保持高溫時，冷卻水就會停止，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵極有可能會被損壞。 　　因此，在使用高溫熱處理爐、真空速凝爐等此類工業(yè)爐時，一定要注意冷卻水是否異常，要時常檢查設備，做好平日的維護，才能延長設備使用年限。

　　真空燒結爐主要用于合金、金屬、陶瓷等物質的燒結。雖然主要應用于燒結，但它針對不同的使用環(huán)境，也有不同的分類。那么，它有哪些分類呢? 　　其主要分為雙聯(lián)及單室外循環(huán)加壓氣冷真空燒結爐，這兩大類型。雙聯(lián)燒結爐有兩臺相同的燒結爐，共用抽真空以及電氣控制系統(tǒng)。 　　在操作雙聯(lián)真空燒結爐時，兩爐相互交替使用加熱、冷卻。它可以在同一爐內脫脂、預燒結和燒結一次完成。脫脂系統(tǒng)包括外部管道、真空閥等裝置。 　　燒結爐其實工作原理與高溫熱處理爐相似。單室外循環(huán)加壓氣冷燒結爐需配置高真空、大抽速的真空機組，才能滿足燒結工藝要求。 　　真空燒結爐安全操作26條標準： 　　1.中頻電源、真空爐爐體、感應圈之冷卻水源——蓄水池之水必須充滿，水中不得有雜質。 　　2.開動水泵，使其中頻電源，真空爐感應圈、爐體冷卻系統(tǒng)水循環(huán)正常，并調整水壓控制在規(guī)定值。 　　3.檢查真空泵電源系統(tǒng)，皮帶盤皮帶松緊，真空泵油是否位于油封觀察孔中線。檢查妥后，人工轉動真空泵皮帶盤，如無異常，可在關閉蝶閥的情況下，啟動真空泵。 　　4.檢查真空爐體內情況，要求真空爐體內一級衛(wèi)生，感應圈絕緣良好，密封真空膠帶具有彈性，尺寸合格。 　　5.檢查真空爐體的杠桿手把啟動是否靈活。 　　6.檢查轉動式麥氏真空計是否合乎要求。 　　7.檢查石墨坩堝，裝爐配件是否齊全。 　　8.在以上準備就緒后，接通電源，中頻電源合閘，按中頻啟動規(guī)則，試啟動變頻，成功后停止變頻，方可開爐。 　　9.真空爐體上蓋的觀察、測溫孔，每次開爐均需清潔處理，以便觀察和測溫。 　　10.裝爐時應根據(jù)不同燒結產品，采取相應裝爐方式。按有關材質裝爐規(guī)則裝盤，不得隨意更改。 　　11.為了保持恒溫，防止熱輻射，發(fā)熱坩堝上加二層碳纖維，再罩上隔熱屏。 　　12.墊好真空密封膠帶。 　　13.操作杠桿手把，轉動真空爐頂蓋與爐體密切重合，放下頂蓋，并鎖好固定螺母。 　　14.徐徐打開蝶閥，抽爐體空氣，至真空度達到規(guī)定值。 　　15.在真空度達到規(guī)定要求后，開始啟動變頻，調整中頻功率，按有關材質的燒結規(guī)定操作;升溫、保溫冷卻。 　　16.燒結完畢后，停止變頻，按停止變頻開關，逆變停止工作，斷開中頻電源分閘與斷開電源總閘。 　　17.從爐體觀察孔觀察爐膛發(fā)黑后，先關閉真空泵蝶閥與斷開真空泵電流，再接自來水繼續(xù)冷卻感應圈和爐體，***后停水泵。 　　18.中頻電壓750伏有觸電危險。在整個操作和檢查過程中，要注意操作安全，不要用手接觸中頻電柜。 　　19.在燒結過程中，隨時從爐體側面觀察孔觀察感應圈是否發(fā)生放弧現(xiàn)象，如發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象，應立即報告有關人員處理。 　　20.啟動真空蝶閥應緩慢，否則會因抽氣過急而冒油，帶來不良后果。 　　21.正確使用轉動式麥氏真空計，否則會造成真空讀數(shù)誤差或因操作過急而使水銀溢出造成公害。 　　22.注意真空泵皮帶盤安全運行。 　　23.在墊真空密封膠帶，蓋爐體頂蓋時，注意防止壓手。 　　24.凡在真空條件下，容易揮發(fā)影響真空衛(wèi)生，造成管道堵塞、真空泵臟化的工件或容器，不得入爐。 　　25.凡產品加有成型劑(如油或石蠟)，必須脫掉方可入爐燒結，否則會造成不良后果。 　　26.全部燒結過程中，要注意水表壓力范圍和冷卻水循環(huán)，以免發(fā)生事故。